Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Properties of lanthanum oxide deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

Kang ,  Byung-Woo ,  Kim 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

Effect of Hydrogen Treatment on Electrical Properties of Hafnium Oxide for Gate Dielectric Application

Kyu-Jeong Choi ,  Woong-Chul Shin ,  Soon-Gil Yoon

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2001 .06

MOCVD를 이용하여 증착시킨 Hafnium Oxide 박막의 전기적 특성연구

오재민 ,  김영순 ,  이태호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PEALD 방법으로 중착된 $La_2O_3$ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성

이은주 ,  김범용 ,  고명균 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

원자층증착법을 이용한 Hafnium dioxide 박막의 전기적 특성

이태호 ,  김영배 ,  오재민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Atomic Layer Deposition for Displays Applications

최동원 ,  박진성

인포메이션 디스플레이

2013 .01

Hafnium Oxide Nano-Film Deposited on Poly-Si by Atomic Layer Deposition

Wei ,  Hung-Wen ,  Ting 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

ALD로 증착시킨 $HfO_2$/SiON 게이트 유전물질의 특성

강문수 ,  김영배 ,  이태호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Characterization of Thin Films deposited at Low Temperature by using Atomic Layer Deposition and E-beam Evaporation

Jeong Hwan Kim ,  Sung-Woong Lee ,  Jae-Sung Yoo 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

원자층 증착법으로 성장한 HfO 박막의 제조

김희철 ,  김민완 ,  김형수 외 6명

한국재료학회지

2005 .01

원자층 증착법으로 증착된 MoO_x를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지

정민지 ,  조영준 ,  이선화 외 4명

한국재료학회지

2019 .01

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

The preferred (200) orientation tetragonal phase of $HfO_2-Al_2O_3$ thin films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

문형석 ,  주대권 ,  박판귀 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

Synthesis of lanthanum oxyfluoride by grinding lanthanum oxide with poly(tetrafluoroethylene)

Jae ,  yeong Lee ,  Jonggwan Ahn 외 4명

한국암반공학회 학술대회 및 세미나 자료집

2003 .11