이온성 폴리머-금속 복합재료 작동층을 사용한 플랩 밸브 마이크로 펌프의 설계, 개발 및 특성 규명

구옌탄텅; 구남서; 구옌빈칸; 유영태

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자료유형: 학술저널

저자정보: 구옌탄텅 구남서 구옌빈칸 유영태

저널정보: 한국항공우주학회 한국항공우주학회지 韓國航空宇宙學會誌第35卷第4號

발행연도: 2007.4

수록면: 302 - 307 (6page)

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본 연구에서는 이온성 폴리머-금속 복합재료 (IPMC) 작동기를 사용한 플랩 밸브 마이크로 펌프의 설계, 제작 및 실험적 특성 규명을 수행하였다. 나피온/실리케이트 층과 나피온/실리카 나노복합재료를 기반으로 한 다층형 IPMC를 마이크로 펌프의 작동층으로 사용하였다. 마이크로 펌프의 핵심 요소인 IPMC 다이아프램의 주위를 유연한 폴리디메틸 실옥산(PDMS)을 사용하여 지지하도록 함으로써 상당히 큰 작동 변위를 내도록 설계하였다. 이렇게 개발된 마이크로 펌프의 크기는 20×20×5㎣ 이고, 최대 유량은 760 ㎕/min, 최대 배압은 1.5 ㎪이었다. 본 연구에서 개발한 마이크로 펌프는 간단하고 효율적인 설계를 수행하여 제작이 용이할 뿐 아니라, 동작 전압이 1-3V라는 장점이 있다.

#Micropump(마이크로 펌프) #Ionic polymer-metal composite(이온성 폴리머-금속 복합재료) #Micro-electo-mechanical system(MEMS)

참고문헌 (18)

참고문헌 신청

P. Woias , 2005 , Micropumps-past, progress and future prospects , Sensors and Actuators B 105 : 28 ~ 38

N. T. Nguyen , 2002 , MEMS-Micropumps : A Review , ASME 124 : 384 ~ 392

A. Olsson , 1996 , Diffuser-element design investigation for valve-less pumps , Sensor and Actuators A 57 : 137 ~ 143

N. T. Nguyen , 2004 , A fully polymeric micropump with piezoelectric actuator , Sensors and Actuators B 97 : 137 ~ 143

T. T. Nguyen , 2006 , A novel PDMS valveless micropump with a circular lightweight piezo-composite actuator , Key Engineering Materials 321-323 : 245 ~ 248

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