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이용수
Abstract
1. 서론
2. 구조 및 동작원리
3. 제작공정
4. 특성시험
5. 결론
참고문헌
저자소개
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마이크로 펌프의 제작을 위한 설계 및 공정 기술의 개발
전기학회논문지
1994 .11
상변화 구동 방식 마이크로 펌프의 제작 및 시험
전기학회논문지 C
2000 .06
압전 구동기를 이용한 마이크로 펌프의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
자기변형 박막을 이용한 마이크로 펌프의 제작과 시험
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
새로운 기포동력 마이크로펌프 제작 및 실험
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
압전구동기를 이용한 마이크로펌프 시스템 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .06
Optimal Valve Design and Fabrication of an Electrostatic Micropump with p+ Diaphragms
JOURNAL OF KIEE
1996 .12
열공압형 마이크로펌프의 액추에이터 박막 거동 특성에 관한 수치적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .10
P+ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
솔레노이드 코일을 이용한 전자 마이크로 펌프의 제작 및 시험
전기학회논문지 C
2000 .05
실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정 연구 ( Study on the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
열공압형 마이크로 펌프의 제작에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
시뮬레이션을 통한 무밸브 마이크로 펌프의 전기-유체-구조 상호작용에 대한 연구
한국항공우주학회지
2008 .01
열공압형 마이크로펌프의 액추에이터 박막 거동 특성에 관한 실험적 연구
대한기계학회 논문집 B권
2010 .06
양방향 마이크로 펌프의 개발 및 성능에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
압전식 구동기를 이용한 양방향 마이크로 펌프의 성능에 관한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2006 .04
정전기력으로 작동되는 마이크로펌프의 제작
대한전자공학회 학술대회
2012 .06
실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정을 위한 Microscopy Study ( Microscopy Study for the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )
전자공학회논문지-A
1992 .01
모세관 인력으로 작동되는 열공압형 마이크로 펌프의 형상이 성능에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 B권
2009 .10
디퓨저/노즐을 이용한 압전형 마이크로 펌프의 펌핑 특성에 미치는 입출구 위치의 영향
설비공학논문집
2007 .05
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