실리콘 박막을 이용한 마이크로펌프의 제작 및 성능시험

金永洙 ,  梁翔植

전기학회논문지

1997 .07

실리콘 문화 96

유영욱

CAD 및 VLSI 설계연구회지

1996 .01

실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정 연구 ( Study on the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )

하병주 ,  주병권 ,  차균현 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1996 .10

압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1992 .10

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )

양상식 ,  양의혁

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

실리콘 에칭 모델링

구민

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

실리콘 잉고트 절단 슬러지로부터 실리콘 및 실리콘카바이드 분리 회수

김병규 ,  장희동 ,  장원철

한국자원리싸이클링학회 학술발표대회

2004 .01

폐실리콘 슬러지로부터 실리콘 분말의 분리 회수

장희동 ,  장한권 ,  서용재 외 3명

한국자원리싸이클링학회 학술발표대회

2005 .01

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조

한길진 ,  김영철 ,  장영철 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

실리콘 산화막을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막트랜지스터 제작 ( Fabrication on Amorphous Silicon Thin Film Transistors Using the SiO2 Film )

이경하 ,  전정목 ,  이태진 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .05

안정성이 우수한 비정질 실리콘과 n형 미세 결정질 실리콘의 제작

변재성 ,  전홍빈 ,  문종현 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

박막구조를 가진 폴리실리콘 압저항형 습도센서의 연구

박성일 ,  박세광

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정을 위한 Microscopy Study ( Microscopy Study for the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )

하병주 ,  주병권 ,  차균현 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .01

LPCVD 다결정 실리콘 박막의 성장 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 응용

하승호 ,  이진민 ,  박승희 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01