메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
1,810 - 1,814 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2014

반도체 웨이퍼 세정공정용 1 MHz 급 매엽식 메가소닉 개발
김현세 ,  이양래 ,  임의수 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.05 학술대회자료

2013

나노패턴용 3 MHz 급 메가소닉 세정시스템 개발
김현세 ,  이양래 ,  임의수 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013.05 학술대회자료

2009

반도체 세정 공정용 Single-beam 메가소닉 시스템 설계
김현세 ,  이양래 ,  임의수 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.06 학술대회자료

2008

나노패턴 세정을 위한 소형 메가소닉 모듈 개발
김현세 ,  이양래 ,  임의수 대한기계학회 춘추학술대회 2008.11 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
A small L-type megasonic module for nano-pattern cleaning was designed and manufactured. The impedance graph of the quartz waveguide with a piezoelectric actuator was predicted using finite element method (FEM). The peak value of the piezoelectric actuator alone was 3.373 ㎒, which was the same as the experimentally measured value of 3.373 ㎒ (0.0% error). In addition, the maximum impedance value of the quartz waveguide with the actuator was 3.373 ㎒, which agreed well with the measured value of 3.362 ㎒ (0.3% error). The acoustic pressures of a conventional megasonic system (3 ㎒) and the developed system under similar conditions were measured and compared. The results showed that the maximum values and standard deviations of the developed system decreased by 29% and 18%, respectively, compared with the conventional type. This suggests that the small L-type would have higher particle removal efficiency with lower possibilities of pattern damages.
#Megasonic(메가소닉) #Finite element method(FEM)(유한요소해석) #Nano-pattern cleaning(나노패턴 세정)

목차

Abstract
1. 서론
2. 메가소닉 설계
3. 실험
4. 결과 및 토의
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

나노패턴용 3 MHz 급 메가소닉 세정시스템 개발
김현세 ,  이양래 ,  임의수 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05
나노 패턴 세정용 Dual-frequency 웨이브가이드 설계 및 제작
김현세 ,  이양래 ,  임의수 대한기계학회 춘추학술대회 2013 .05
반도체 세정 공정용 Single-beam 메가소닉 시스템 설계
김현세 ,  이양래 ,  임의수 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009 .06
실리콘 태양전지 웨이퍼 Green 세정공정기술 개발
손영수 ,  함상용 ,  김병인 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0