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이용수
2010
1. 서론
2. 실험 장치 구성
3. 강건설계 및 진공중 위치제어
4. 결론
후기
참고문헌
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진공환경 중 초음파 모터 시스템의 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
X-Y 스테이지를 위한 초음파 리니어 모터의 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2000 .04
데드존 보상기를 이용한 2 축 초음파 리니어 모터 시스템 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
리니어 모터구동 진공펌프 설계 및 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
초음파 리니어 모터의 설계와 유한요소 해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
1999 .10
진공환경에서 하이브리드 초음파 리니어 모터의 진동모드 매칭에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .04
예압변화에 따른 초음파 리니어 모터 제어 특성 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
강인 제어 기법을 이용한 리니어 모터의 위치 제어 ( Position Control of Linear Motor Using Robust Control Techniques )
대한기계학회 춘추학술대회
1999 .01
Development of Spherical Ultrasonic Motor for High Vacuum Condition
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
고출력 고정도 초음파 리니어 모터
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
유한요소법을 이용한 선형 초음파 모터의 동작 특성 해석 및 뉴럴 네트웍을 이용한 선형 초음파 모터의 정밀 위치 제어
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .04
정재파형 초음파 리니어 모터에 관한 연구
한국음향학회지
2001 .01
초음파 모터를 이용한 리니어 스테이지의 마이크로 동특성
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
Characteristics of p-shaped Ultrasonic Motor
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
고진공 환경에서 하이브리드 타입 초음파 리니어 모터의 나노미터 모션 제어
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .06
진공용 초정밀 리니어모터 타입의 스테이지 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2008 .05
초음파 모터의 구동 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
초음파 모터의 설계와 유한요소해석
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
초음파 모터의 위치제어를 위한 학습제어기 설계
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1999 .10
적층형 압전 액츄에이터를 이용한 L1-B4형 선형 초음파 리니어 모터의 타원변위궤적
전기전자재료학회논문지
2008 .01
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