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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
268 - 273 (6page)

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In this paper, we propose the design method of linear stage for high vacuum. First of all, we selected important factor to design vacuum system. In the concrete material and components of stage are selected. And then we could choose the suitable parts after experiment. Before the experiment we cleaned each parts of linear stage. Actually, A6061 material, SUS cableveyor, SUS spring stopper and lubricated LM guide are good at vacuum system that need to run in high vacuum.

목차

Abstract
1. 서론
2. 진공용 재료 및 장비
3. 실험
4. 결론
후기
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