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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
277 - 282 (6page)

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The domestic semiconductor manufacturing companies are concentrating on 300㎜ wafers the main purpose of which is to enhance the productivity and to reduce the cost. Two of the most impending research needs in 300㎜ wafer manufacturing processes are the maintenance of the cleanness and the precise supply of DI water and etching chemical at the wet processes. Especially the constant flowrate control is the critical factor of the credibility of integration and the productivity.
#Flowmeter(유량계) #Valve(밸브) #Flowtate supplying system(정량공급시스템) #Pump(펌프) #Bellows(벨로우즈) #Stepping(스테핑)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템구성 및 실험방법
3. 실험장치 및 조건
4. 실험방법
5. 실험결과
6. 고찰
7. 결론
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