압력에 따른 평행박막 밸브의 자율 변형을 이용한 수동형 유량 제어기

도일; 조영호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 도일 조영호

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제33권 제6호

발행연도: 2009.6

수록면: 573 - 576 (4page)

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We present a passive flow-rate regulator, capable to compensate inlet pressure variation and to maintain a constant flow-rate for precise liquid control. Deflection of the parallel membrane valves in the passive flowrate regulator adjusts fluidic resistance according to inlet fluid pressure without any external energy. Compared to previous passive flow-rate regulators, the present device achieves precision flow regulation functions at the lower threshold compensation pressure of 20㎪ with the simpler structure. In the experimental study, the fabricated device achieves the constant flow-rate of 6.09±0.32 ㎕/s over the inlet pressure range of 20~50 ㎪. The present flow-rate regulator having simple structure and lower compensation pressure level demonstrates potentials for use in integrated micropump systems.

#Passive Flow-rate Regulator(수동형 유량제어기) #Parallel Membrane Valve(평행박막 밸브) #Autonomous Deflection(자율변형)

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1. [학술대회논문] - Mailllefer, D. / 2001 / A Highperformance Silicon Micropump for Disposable Drug Delivery Systems / Proc. 14th IEEE Inter. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2001), Interlaken, Switzerland : 413 ~ 417

2. [학술대회논문] - Cousseau, P. / 2001 / Improved Microflow Regulator for Drug Delivery Systems / Proc. MEMS : 527 ~ 530

3. [학술지(정기간행물)] - Yang, B. / 2007 / A Planar Compliancebased Self-adaptive Microfluid Variable Resistor / Microelectromech. Syst 16 : 411 ~ 419

4. [학술지(정기간행물)] - Laser, D. / 2004 / A Review of Micropumps / J. Micromech. and Microeng 14 : R35 ~

5. [학술지(정기간행물)] - Huang, H. / 2007 / Different Fabrication Methods of Out-of-plane Polymer Hollow Needle Arrays and Their Variations / J. Micromech. and Microeng. 17 : 393 ~

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