열공압 방식으로 구동되는 미세 유체 제어 시스템의 제작 및 특성

柳鍾喆; 姜致中; 金容商

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자료유형: 학술저널

저자정보: 柳鍾喆姜致中金容商

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 C 전기학회논문지 제55C권 제2호

발행연도: 2006.2

수록면: 88 - 92 (5page)

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We present a microfluidic system with microvalves and a micropump that are easily integrated on the same substrate using the same fabrication process. The fabricated microfluidic system is suitable for use as a disposable device and its characteristics are optimized for use as a micro chemical analysis system (micro-TAS) and lab-on-a-chip. The system is realized by means of a polydimethylsiloxane (PDMS)-glass chip and an indium tin oxide (ITO) heater. We demonstrate the integration of the micropump and microvalves using a new thermopneumatic-actuated PDMS-based microfluidic system. A maximum pumping rate of about 730 nl/min is observed at a duty ratio of 1％ and a frequency of 2 ㎐ with a fixed power of 500 ㎽. The measured power at flow cut-off is 500 ㎽ for the microvalve whose channel width, depth and membrane thickness were 400 ㎛, 110 ㎛ and 320 ㎛, respectively.

#Microfluidic System #Micropurnp #Microvalve #PDMS #ITO

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[학술지(정기간행물)] - Maria A. Schwarz / 2001 / Recent developments in detecton methods for microfabricated analytical devices 1 : 1 ~ 6

[학술지(정기간행물)] - Mark A. Burns, / 1998. / An Integrated Nanoliter DNA Analysis Device 282 : 484 ~ 487

[학술지(정기간행물)] - Woo Young Sim / 2003. / A phase-change type micropump with aluminum flap valves 13 : 286 ~ 294

[학술지(정기간행물)] - S. Matsumoto / 1999 / Development of bi-directional valve-less micropump for liquid : 141 ~ 146

[학술지(정기간행물)] - Jin-Ho Kim / 2005. / A disposable thermopneumatic-actuated micropump stacked with PDMS layers and ITO-coated glass 120 (2) : 365 ~ 369

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