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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
479 - 484 (6page)

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In this study, flow characteristics of the piezoelectric type microvalve which was manufactured for pneumatic pressure control were analyzed. Piezoelectric actuators which are applied in MEMS and NEMS have some advantages like fast response and energy saving. Meanwhile, it is difficult to get the hysteresis linearity and precise assembling because of ferroelectricity and tiny displacement. Tiny displacement affects the discharge coefficient and eddy flow directly. So, it is very important study to analyze the flow characteristics of the microvalve with piezoelectric actuator. In this study, flow field numerical analysis of the object microvalve of which displacement is 25㎛ was operated. And distribution characteristics of the flow pressure and velocity were analyzed.

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석경계조건
3. 지배방정식
4. 유동해석 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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