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A surface acoustic wave (SAW) filter structure was fabricated employing 4 μm thick nanocrystalline diamond (NCD) and 2.2 ㎛ thick ZnO films on Si wafer. The NCD film was deposited in an Ar/CH₄ gas mixture by microwave plasma chemical vapor deposition method. The ZnO film was formed over the NCD film in an RF magnetron sputter using ZnO target and Ar/O₂ gas. On the top of the two layers, copper film was deposited by the RF sputter and inter digital transducer (IDT) electrode pattern (line/space : 1.5/1.5 ㎛) was defined by the photolithography including a lift-off etching process. The fabricated SAW filter exhibited the center frequency of 1.66 ㎓ and the phase velocity of 9,960 ㎧, which demonstrated that a giga Hertz SAW filter can be realized by utilizing the nanocrystalline diamond thin film.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - T. Shiosaki / 1986 / / IEEE Trans. Ultrason. Ferroelec. Freq. Cont. 32 : 324 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Y. W. Park / 2003 / / J. Kor. Cer. Soc. 40 : 547 ~
3. [학술지(정기간행물)] - M. B. Assouar / 2000 / / Appl. Surf. Sci. 164 : 200 ~
4. [학술지(정기간행물)] - B. Bi / 2002 / / Diamond Relat. Mater. 11 : 677 ~
5. [학술지(정기간행물)] - H. Nakahata / 2003 / / Semicond. Sci. Technol. 18 : S96 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Y. W. Park / 2003 / / J. Kor. Cer. Soc. 40 : 547 ~
3. [학술지(정기간행물)] - M. B. Assouar / 2000 / / Appl. Surf. Sci. 164 : 200 ~
4. [학술지(정기간행물)] - B. Bi / 2002 / / Diamond Relat. Mater. 11 : 677 ~
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