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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
956 - 959 (4page)

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In scanning electron microscope (SEM), secondary electrons emitted from the specimen are converted to electrical signal. This signal needs to be amplified and converted into digital signal by AD converter. Amplifying the signal will be accompanied by undesirable noise signal which is also amplified, which deteriorates the image quality. If the frequency analysis between secondary electron signal and noise signal will be implemented, a corresponding software processing or a filter design will be beneficial to reducing noise. In this article, frequency analysis and filter design are introduced, resulting in enhanced SEM image quality.
#Digital Signal Processing(디지털신호처리) #Photomultiplier Tube(광전자 증배관) #Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Detector(검출기) #Secondary Electron(2차 전자) #Frequency(주파수)

목차

Abstract
1. 서론
2. SE 신호 처리
3. SE 신호의 분석
4. Filter 설계
5. 결론
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