주사전자현미경용 전자검출기

이상욱; 전종업; 한상훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이상욱 전종업 한상훈

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2004.4

수록면: 513 - 517 (5page)

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2011

주사 전자 현미경의 보정작업을 위한 메타 휴리스틱 알고리즘

이상욱 한국콘텐츠학회 종합학술대회 논문집 2011.05 학술대회자료

2004

주사전자현미경용 전자검출기

이상욱 , 전종업 , 한상훈 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.04 학술대회자료

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The nature of the signals collected by an SEM(Scanning Electron Microscope) in order to form images are all dependent on the detector used to collect them, and the quality of an acquired image is strongly influenced by detector performance. Therefore, the development of detector with high performance is very important in pulling up the resolution of SEM. In this article, electron beam-specimen interactions, the detection principle of secondary electrons and backscattered electrons, and the structure of a conventional detector are described. The structure of an experimental apparatus for the future study on our hopeful novel electron detector is presented as well.

#Electron Microscope(전자검출기) #Secondary Electron Microscope(주사전자현미경) #Secondary Electron(이차전자) #Backscattered Electron(후방산란전자)

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