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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김기환 (Technology, Seoul National University of Science & Technology) 장동영 (Seoul National University of Science & Technology) 박만진 (KEMCTI)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.24 No.3
발행연도
2015.6
수록면
270 - 277 (8page)

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In this paper, we describe the production of a specific electrostatic-type scanning electron microscope based on miniaturization for application in other types of vacuum equipment. The initial configuration of the SEM starts with a minimal configuration that allows people to view sample images. After improving the stability of the SEM operation and resolution, we conducted experiments on identifying the characteristics and development of an einzel-type condenser lens with reference to the demagnification lens system of an SEM. The experiments were conducted at an acceleration voltage of 5 kV and we found the shape of the lens to be more reliable than a conventional lens. The lens was then added to improve the resolution in the nanometer region. The current measured on the sample was approximately 40 pA and its magnification was 4,000 times.
#Scanning electron microscope #Electrostatic type #Condenser lens #Einzel lens #Aberration #Demagnification lens system

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장비의 구성 및 실험방법
3. 실험
4. 결론 및 고찰
References

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
[학술대회논문] - Maeng, H. Y. / 2005 / Design and Modal Analysis of FIB-SEM Compound Machine Structure / KSMTE 2005 (10) : 14 ~ 19 google schola [학위논문] - Kim, Y. T. / 2008 / Design and Optimization of Ion Beam Optics for Multi Ion Beam Instrument / Master / Yonsei University google schola [학위논문] - Ko, Y. H. / 2006 / A Study on the Assembly Aberration Analysis of Focused Ion Beam Column / Master / Korea Polytechnic University google schola [학술지(정기간행물)] - Kim, H. S. / 2003 / Electro - optical Analysis of a Miniaturized Electrostatic Electron lens / OSK 14 (2) : 194 ~ 199 google schola [학술지(정기간행물)] - Lee, S. S. / 2008 / Characteristic of Breakdown Voltage of Electrode Material in Vacuum / KIEE 2008 (10) : 101 ~ 102 google schola

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