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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
배진호 (서울과학기술대학교) 김동환 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제39권 제1호
발행연도
2015.1
수록면
1 - 9 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

주사전자현미경 렌즈의 해석을 통한 최적의 빔 특성 연구
배진호 ,  김동환 대한기계학회 논문집 A권 2015.01 학술저널

2013

주사전자현미경 렌즈의 해석을 통한 최적의 빔 특성 연구
배진호 ,  김동환 대한기계학회 춘추학술대회 2013.12 학술대회자료

초록· 키워드

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이 논문은 SEM(Scanning Electron Microsopy) 경통부에서 전자빔의 집속특성을 최적화하기 위한 방법을 다루고 있다. SEM 에서 물체 표면을 확대하기 위해서는 경통부를 지나는 전자빔을 효과적으로 집속하여 표면에 충돌하는 프로브 직경을 줄이는 것이 중요하다. 이 전자빔의 집속정도를 나타내는 지표가 반배율이다. 본 연구는 전자빔의 집속특성을 효과적으로 구현하기 위해 그에 영향을 끼치는 경통부의 설계 인자들을 렌즈 해석과 광선 추적을 통해 알아본다. 이 결과를 근거로 민감도 분석을 수행하여 설계 인자들이 빔의 집속에 끼치는 영향의 정도를 정량적으로 비교해 볼 수 있다. 이러한 전자빔의 특성에 따른 설계 인자의 분석은 경통부 설계에 있어 중요한 기초 정보로 활용될 수 있다.
#SEM(주사전자현미경) #Optimal Design(최적 설계) #Column Design(경통 설계) #Ray Tracing(광선추적) #Lens Analysis(렌즈 해석) #Sensitivity Analysis(민감도 분석) #Design Parameter(설계 인자) #Beam Characteristics(빔 특성)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 전자기 렌즈 해석
3. 최적의 빔 특성연구
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Reimer, L. / 1998 / Scanning Electron Microscopy / Springer : 1 ~ 3 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 박만진 / 2008 / Design and fabrication of a scanning electron microscope using a finite element analysis for electron optical system / Journal of Mechanical Science and Technology 22 (9) : 1734 ~ 1746 google schola 3. [인터넷자원] - / / http://advressys.com/analytic/sem.htm google schola 4. [단행본] - Lee, R. E. / 1993 / Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis / P T R prentice Hall : 68 ~ 69 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 박근 / 2009 / 유한요소해석과 광선추적을 연계한 주사전자 현미경 대물렌즈의 설계 및 해석 / 한국정밀공학회지 26 (11) : 92 ~ 98 dbpia

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김태선 ,  김우석 ,  김동환 외 1명 한국표면공학회지 2007 .08
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설인호 ,  박인용 ,  안상정 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015 .08
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박신근 ,  서창수 ,  지상엽 외 6명 대한전자공학회 학술대회 2015 .06
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김기환 ,  장동영 ,  박만진 한국생산제조학회지 2015 .06

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