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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제40권 제4호
발행연도
2007.8
수록면
185 - 189 (5page)

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A scanning electron microscope (SEM) is a complex system, consisting of many sophisticated components. For a systematic characterization, a 2⁴ full factorial experiment was conducted. The SEM components examined include condenser lens 1 and 2 (denoted as A and B, respectively), and Objective lens (coarse and fine-denoted as C and D respectively). A statistical analysis was conduced to investigate factor effects and variations in response surfaces. Among four factors, main effect analysis revealed that A and D were identified as the dominant factor. Moreover, B showed conflicting effect against C. The R² of statistical regression model constructed was about 69.6%. The model generated 3D response surface plots facilitated understanding of complex factor effects.
#SEM Statistical analysis #Main effect #Response surface model

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 데이터
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (2)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 1998 / Scanning Electron Microscopy - Physics of Image Formation and Microanalysis google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1992. / Design and Anlaysis of Experiments google schola

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