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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
88 - 91 (4page)

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2008

수치해석을 사용한 주사전자현미경 전자광학계의 광선추적
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2007

열전자형 주사전자현미경 결상특성의 수치해석
정현우 ,  박만진 ,  박근 외 2명 한국생산제조학회지 2007.12 학술저널
열전자형 주사전자현미경 결상특성의 수치해석
정현우 ,  박만진 ,  박근 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료

2006

주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석
정현우 ,  박만진 ,  박근 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료

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The present study covers the design and analysis of a thermionic scanning electron microscope(SEM) column. The SEM column contains an electron optical system in which electrons are emitted and moved to form a focused beam, and this generates secondary electrons from the specimen surfaces, eventually making an image. The electron optical system mainly consists of a thermionic electron gun as the beam source, the lens system, the electron control unit, and the vacuum unit. For a systematic design of the electron optical system, the beam emission characteristics and relevant trajectories are investigated through numerical analyses tracing the ray path of the electron beams.
#Scanning Electron Microscope #Thermionic Emission #Electro-Magnetic Lens #Numerical Analysis #Ray Tracing

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 전자 광학계 전자기장 해석
4. 결상 특성 해석
5. 결론
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