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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
53 - 56 (4page)

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It is not efficient and scarcely out of the question to use commercial expensive electron beam lithography system widely used for semiconductor fabrication process for the manufacturing application field of various devices in the small business scope. Then scanning electron microscope based electron beam machining system is maybe regarded as a powerful model can be used for it simply. To get a complete suite of thus proper system, column unit build up with several electo-magnetic lens is necessarily required more than anything else to modify scanning electron microscope.
In this study, various components included several electro-magnetic lens and main body which are essentially constructed for column unit are designed and manufactured. And this established column unit will be used for next connected study in the development step of scanning electron microscope based electron beam machining system.
#Electron beam(전자빔) #SEM(전자현미경) #Machining system(가공시스템) #Column(경통)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 주사식 전자현미경을 기본으로 한 전자빔 가공 시스템의 구축
3. 경통(Column)의 역활
4. 경통(Column)의 제작구성
5. 결론

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