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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
임선종 (한국기계연구원 광응용기계실)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제18권 제3호
발행연도
2015.1
수록면
6 - 8 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (8)

2016

전자빔 검사 장비의 기능 설계
임선종 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2016.04 학술대회자료

2015

피니싱용 전자빔에 대한 전류 밀도 측정 장치의 설계
임선종 ,  이솔 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료
Finishing 용 전자빔 집속 장치의 성능 실험
임선종 한국레이저가공학회지 2015.01 학술저널
초소형 전자빔을 이용한 멀티 전자빔 운영 시스템 설계
임선종 ,  김호섭 한국레이저가공학회지 2015.01 학술저널

2014

전자빔 피니싱 장비에서 라인 패턴 가공
임선종 ,  최지연 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.05 학술대회자료

2013

Finishing 장비용 전자빔 집속 및 스캔 장치의 설계 방안
임선종 ,  최지연 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013.10 학술대회자료

2011

고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속 시스템 설계
임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속
임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Finishing process includes deburring, polishing and edge radiusing. It improves the surface profile of specimen and eliminates the alien substance on surface. Deburring is the elimination process for debris of edges. Polishing lubricates surfaces by rubbing or chemical treatment. There are two types for electron finishing. The one is using pulse beam. The other is using the convergent and scanning electron beam. Pulse type device appropriates the large area process. But it does not control the beam dosage. Scanning type device has advantages for dosage control and edge deburring. We design the convergence and scan type. It has magnetic lenses for convergence and scan device for scanning beam. Magnetic lenses consist of convergent and objective lens. The lenses are designed by the specification(beam size and working distance). In this paper, we evaluate the convergence performance by pattern process. Also, we analysis the results and important factors for process. The important factors for process are beam size, pressure, stage speed and vacuum. These results will be utilized into systematizing pattern shape and the factors.
#라인 패턴 가공 #전자빔 집속 장치

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