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저자정보
노승국 (한국기계연구원) 박종권 (한국기계연구원)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
80 - 85 (6page)

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In this paper, we report a novel surface motor stage supported air bearings and driven by electromagnetic linear motors to be used in a compact sized precision machine systems, such as micro-machine tools or measurement system with minimum height of the X-Y stage. By combining actuations of motors simultaneously, X and Y linear motions can be generated, and angular motion is also possible to control. To control planar motion, a grid encoder is used, and a programmable numerical controller is used to control this system. The thrust force and attraction force were calculated with magnetic circuit model. The designed prototype is 220 (L) × 220 (W) × 66 (H) ㎣ in total size with movement range with 20 ㎜ × 20 ㎜. The prototype was fabricated, and basic aspects such as vertical stiffness and thrust force were evaluated. For the positioning control, 20 ㎚ of positioning resolution was obtained for X and Y axis, and three motions could be controlled separately.
#Planar motor stage #air bearing #magnetic preload #slotless liner motors #microfactory

목차

Abstract
1. 서론
2. 소형 정밀 평면 스테이지 개요
3. 시작품의 제작 및 기본 성능 시험
4. 평면 스테이지의 3자유도 이송제어
5. 결론
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