산소 기체를 이용한 ALD법으로 층착한 ZnO박막의 증착 온도가 전기적 특성에 미치는 영향

진용욱 ,  강상원

대한전자공학회 학술대회

2007 .11

ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용

이우재 ,  윤은영 ,  권정대 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 다른 박막의 구조적 특성변화

장삼석 ,  허재성 ,  김범준 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

$Al_2O_3/Si$ (100) buffer layer위에 증착된 ZnO 박막의 후속 열처리에 따른 특성 변화

김초롱 ,  이재엽 ,  임재영 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Study on Al-ZnO Nanostructures Deposited on Various Substrates

Dong Chan Lim ,  Mi Yeong Pa ,  k 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석

이경범 ,  최병호 ,  한권덕 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

ZnO : Al , In 박막의 구조적 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Properties of ZnO : Al , In Thin Film )

박경일 ,  서무룡 ,  홍범표 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

ZnO 나노와이어의 마찰거동에 관한 연구

김현준 ,  김대은

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .10

원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

신석윤 ,  함기열 ,  전희영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성

마대영 ,  박기철

전기전자학회논문지

2020 .06

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

ALD법으로 성장시킨 Al₂O₃ 박막의 특성분석

성석제 ,  김동진 ,  배영호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Synthesis of ZnO nanorods on ZnO/Si(100) and $Al_2O_3/Si(100)$ substrates by hydrothermal method

Zhao ,  Xiuqin ,  Lee 외 13명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

ZnO Thin Film Transistor Prepared from ALD with an Organic Gate Dielectric

Choi ,  Woon-Seop

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

DC 바이어스를 인가하여 수열합성법으로 성장시킨ZnO 나노와이어의 성장 특성

임영택 ,  신백균

전기전자재료학회논문지

2014 .01

Silane 기반 유기물을 이용한 ALD Al₂O₃ 박막의 열화방지

권정현 ,  정성훈 ,  이승훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

V-I Curves of p-ZnO:Al/n-ZnO:Al Junction Fabricated by RF Magnetron Sputtering

Hu-Jie Jin ,  Yun-Hwan Jeong ,  Choon-Bae Pa 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰

심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

ZnO/Al/ZnO 구조의 투명전극 적용성 연구

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05