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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Experiments
3. Results and Discussion
4. Conclusion
Acknowledgements
[Reference]
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후막 감광제를 이용한 구리 모재의 초소형 히트 파이프 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
Negative Thick Photoresist를 이용한 100㎛ 높이의 금속 구조물의 제작에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
O₂와 N₂ 플라즈마를 이용한 감광제의 패턴 축소 연구
대한전자공학회 학술대회
2009 .07
Novel Fabrication of Electroplated 3D Micro-Coils Using 3D Photolithography of Thick Photoresist
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
마이크로 구조물 제작을 위한 금 전해 도금의 특성에 관한 연구 ( A Study on the Characteristics of Gold Electroplating for Micro Structure Fabrication )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구 ( A Study on Photoresist Stripping Using High Density Oxygen Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
마이크로 구조물 제작을 위한 니켈 도금의 특성에 관한 연구 ( A Study on the Characteristics of Nickel Electroplating for Fabrication of Microstructures )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
마이크로/나노센서 제작을 위한 전기도금 기술 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
Sn-Ag 범프의 고속도금에 영향을 미치는 도금 인자들에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
Photoresist Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
도금 조건에 따른 니켈 전기도금층의 특성 변화에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
사출 성형을 위한 니켈 도금을 수행한 마이크로 몰드의 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .02
플라즈마 활성 소결에 있어서 몰드의 온도분포에 미치는 몰드크기의 영향
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
감광제의 노광변수 추출을 위한 효율적인 전산모사기 ( Effective Lithography Simulator for Extraction of Photoresist Exposure Parameter )
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
감광제의 노광변수 추출을 위한 효율적인 전산모사기
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
MEMS 기술을 이용한 프로브 카드의 탐침 제작
제어로봇시스템학회 논문지
2008 .04
겹치기를 이용한 대면적 몰드 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
주기적인 축방향 자기장을 추가한 유도결합형 플라즈마 장치에서의 감광제 제거공정 개발
대한전자공학회 학술대회
2000 .06
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