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O₂와 N₂ 플라즈마를 이용한 감광제의 패턴 축소 연구
대한전자공학회 학술대회
2009 .07
고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구 ( A Study on Photoresist Stripping Using High Density Oxygen Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계 ( Design of Inductively Coupled Plasma Ashing Chamber )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
주기적인 축방향 자기장을 추가한 유도결합형 플라즈마 장치에서의 감광제 제거공정 개발
대한전자공학회 학술대회
2000 .06
Fabrication of 100㎛ thick mold and electroplating using thick photoresist
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
Photoresist Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Development of Novel Photoresist Removal Process using Multi-phase Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
감광제의 노광변수 추출을 위한 효율적인 전산모사기
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
감광제의 노광변수 추출을 위한 효율적인 전산모사기 ( Effective Lithography Simulator for Extraction of Photoresist Exposure Parameter )
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
포스파젠계 감광제를 사용한 포지형 i-선 포토레지스트
대한전자공학회 학술대회
1995 .06
실험계획법을 이용한 감광제 건식제거 공정의 최적화
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
Removal of Photoresist Residues of Graphene by Using Plasma Treatments
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
후막 감광제를 이용한 구리 모재의 초소형 히트 파이프 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
대면적 내장 선형 ICP(inductively coupled plasma) system에서 자장이 플라즈마와 PR(Photoresist) 식각 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Analysis of Chemical and Morphological Changes of Phenol Formaldehyde-based Photoresist Surface caused by O2 Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2007 .01
산소 플라즈마의 특성과 포토레지스트 제거에의 응용 ( Characteristics of the Oxygen Plasma and Its Application to Photoresist Stripping )
전자공학회논문지
1987 .01
정보기능용 고분자 ( Photoresist )
고분자 과학과 기술
1990 .11
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