반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향

김상태 ,  양돈식 ,  박한우 외 1명

고분자 과학과 기술

2005 .02

포토레지스트의 동향과 전망

김성주 ,  박주현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

산소 플라즈마의 특성과 포토레지스트 제거에의 응용 ( Characteristics of the Oxygen Plasma and Its Application to Photoresist Stripping )

황기웅 ,  이종덕 ,  김정호

전자공학회논문지

1987 .01

Photoresist Technology

김진백

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Optical Stepper 의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 ( Very Fine Photoresist Pattern Formation using Double Exposure of Optical Wafer Stepper )

양전욱 ,  김봉렬 ,  박철순 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .07

I 선용 포토레지스트 재료의 개발 ( I-Line positive Photoresist Using Phosphazene-Based PACs )

김성주 ,  김지홍 ,  박주현 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

Black matrix용 포토레지스트의 제조에 관한 연구

이동근 ,  배진영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

폴리머의 O₂ 플라즈마 에칭을 위한 포토레지스트의 실릴화 특성 연구

이길현 ,  강동수 ,  김진봉 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

광개시제 종류에 의한 I-line용 포토레지스트 미세 패턴 특성 구현

김선형 ,  이덕희 ,  한미정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .10

환경친화적인 초임계 이산화 탄소 공정을 이용한 포토레지스트의 합성

허완수 ,  이상원 ,  박혜진 외 3명

폴리머

2004 .11

새로운 감광성고분자의 개발 - 아미노기의 생성과 포토레지스트의 이용 -

송경헌

폴리머

1993 .11

무기질 a-Se₇₅Ge₂₅ 을 이용한 포토레지스트의 특성

정홍배 ,  허훈 ,  김태완 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .11

증착각도를 달리한 무기질 a-Se₇₅Ge₂₅ 포토레지스트의 미세패턴형성

鄭鴻倍 ,  李榮鍾 ,  柳熙寬 외 1명

전기학회논문지

1987 .09

폴리실리콘 산화막과 영상반전 포토레지스트를 이용한 1μm 소자분리 기술 ( Application of Oxidized Poly-Silicon and Image-Reversal Photoresist for 1μm Isolation Technology )

김현종 ,  김오현 ,  이희국

전자공학회논문지

1988 .11

레이저에 의한 포토레지스트의 마스크리스 페터닝

이경철 ,  김재권 ,  이천 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

고분자 주쇄에 광분해성 구조를 갖는 폴리이미드의 합성 및 포토레지스트 특성

오세용 ,  이지영 ,  조성열 외 1명

폴리머

1999 .07

수용성 포토레지스트 와 이를 이용한 유기 박막의 photolithography 공정 연구

김광현 ,  김건주 ,  류기성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

정보기능용 고분자 ( Photoresist )

김진백

고분자 과학과 기술

1990 .11

수용성 포토레지스트의 합성과 감광 특성

최준혁 ,  홍성일

한국섬유공학회 학술발표논문집

1995 .01

포스파젠계 감광제를 사용한 포지형 i-선 포토레지스트

김성주 ,  김지홍 ,  박주현 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06