이온빔과 전자빔을 이용한 마스크리스 나노 패터닝에 관한 연구

김흥배

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성

박병선 ,  유형준 ,  이대엽 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

펨토초 레이저를 이용한 미세 PR 패터닝

손익부 ,  고명진 ,  김영섭 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .06

반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향

김상태 ,  양돈식 ,  박한우 외 1명

고분자 과학과 기술

2005 .02

레이저를 이용한 회로 패터닝

박민수 ,  원시태 ,  김한글 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

포토레지스트의 동향과 전망

김성주 ,  박주현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

Maskless 노광공정을 위한 LDI(Laser Direct Imaging) 시스템 개발 및 단일 레이저 빔 에너지 분포 분석

이수진 ,  김종수 ,  신봉철 외 2명

한국생산제조학회지

2010 .12

Photoresist Technology

김진백

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

산소 플라즈마의 특성과 포토레지스트 제거에의 응용 ( Characteristics of the Oxygen Plasma and Its Application to Photoresist Stripping )

황기웅 ,  이종덕 ,  김정호

전자공학회논문지

1987 .01

Photosensitive material in patterning for positive-tone photoresists

곽영준 ,  이승우 ,  손석호 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

I 선용 포토레지스트 재료의 개발 ( I-Line positive Photoresist Using Phosphazene-Based PACs )

김성주 ,  김지홍 ,  박주현 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

집속 레이저 빔에 의한 PDP 격벽의 마스크레스 식각

안민영 ,  이경철 ,  이홍규 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Black matrix용 포토레지스트의 제조에 관한 연구

이동근 ,  배진영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

PCB 노광을 위한 DMD를 이용한 마스크리스 리소그래피 기술

조명우 ,  김동우

기계저널

2010 .06

Novel Maskless Bumping for 3D Integration

Kwang-Seong Choi ,  Ki-Jun Sung ,  Byeong-Ok Lim 외 4명

[ETRI] ETRI Journal

2010 .04

Dynamic micropatterning of cells on nanostructured surfaces using a cellfriendly photoresist

권순호 ,  송광훈 ,  박형준 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

Maskless 방식을 이용한 PCB 생산시스템의 진동 해석

장원혁 ,  이재문 ,  조명우 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .11

Laser-Induced Maskless wet Etching of Silicon Wafer

Jae Hoon Cheong ,  Se Ki Pa ,  k 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

환경친화적인 초임계 이산화 탄소 공정을 이용한 포토레지스트의 합성

허완수 ,  이상원 ,  박혜진 외 3명

폴리머

2004 .11