DMD를 이용한 마스크리스 리소그래피 시스템의 고해상도 구현을 위한 다중 빔 에너지 분석에 관한 연구

김종수 ,  신봉철 ,  조용규 외 2명

한국산학기술학회 논문지

2011 .02

DMD에서의 홀로그램 패턴 특성 분석

우성수 ,  홍성희 ,  홍지수 외 7명

한국통신학회 학술대회논문집

2016 .01

레이저를 이용한 직접금속조형(DMD) 기술

지해성 ,  서정훈

한국CDE학회 논문집

2003 .09

소프트 리소그래피 기술

신영재 ,  이응숙 ,  정준호

기계와 재료

2002 .01

21세기를 향한 노광기술과 스텝퍼

이용일 ,  박흥옥

[ETRI] 전자통신동향분석

1992 .12

노광장비에서의 고효율 전자빔 응용 기술 현황

임선종 ,  강재훈 ,  이현용 외 1명

한국공작기계학회지

2008 .09

Maskless Photolithography 구현을 위한 DMD 노광 시스템 개발과 에너지 밀도 해석에 의한 패턴 분석

조명우 ,  김동우 ,  이수진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

최근의 X-ray 리소그래피 기술개발 현황

유형준 ,  황호병 ,  이병철 외 1명

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .09

DMD를 이용한 차량용 전조등 소개

이태원 ,  박인흠

오토저널

2011 .07

X-선 노광용 마스크 제작에 관한 연구

이문석 ,  김오현

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

PCB 기술개발동향

여운동 ,  김강회 ,  김재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작

李準燮 ,  申鉉俊 ,  文盛昱 외 2명

전기학회논문지 C

2004 .01

광노광을 위한 투영광학계의 기술분석

이종현 ,  배남진 ,  전치훈 외 5명

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .06

DMD 헤드램프 차량 적용 효과에 대한 연구

원용희 ,  이혁민 ,  한성연 외 3명

한국자동차공학회 춘계학술대회

2018 .06

레이저에 의한 포토레지스트의 마스크리스 페터닝

이경철 ,  김재권 ,  이천 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

반도체 공정용 리소그래피 기술의 최근 동향

정태진 ,  유종준

[ETRI] 전자통신동향분석

1998 .10

PCB 의 제조기술 변화

이진호

전자공학회지

1994 .08

PCB의 최근기술동향

이진호

전자진흥

1997 .01

최근 PCB의 특허 동향

한국전자산업진흥회

전자진흥

1983 .01