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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1990年度 秋季學術大會 論文集
발행연도
1990.11
수록면
115 - 118 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1990

Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation
김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1990.11 학술대회자료
Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )
김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1990.11 학술대회자료
Laser CVD silicon nitride막의 wear out
김천섭 ,  권봉재 ,  김용우 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 1990.11 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 이론적 고찰
3. 시료의 제작 및 측정
4. 실험 결과 및 검토
5. 결론
REFERENCE

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