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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2013 .01
RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
RF-스퍼터링에 의해 GaAs 기판상에 제작된 ZnO 박막의 성장온도와 공정가스비의 의존성
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
RF스퍼터링법으로 성장시킨 n-ZnO 박막과 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED의 특성
한국재료학회지
2013 .01
RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
RF 출력이 ZnO 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 영향
한국재료학회지
2012 .01
PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2012 .01
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과
전기학회논문지 C
2000 .12
기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석
전기전자재료학회논문지
2006 .01
RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
DEFENDENCE OF PROPERTIES OF THE AL-DOPED ZNO THIN FILMS DEPOSITED BY RF MAGNTRON SPUTTER ON SPUTTERING TARGET DENSITY
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2007 .01
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO/Si(100) 기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성
한국재료학회지
2006 .01
SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구
한국전자파학회논문지
2014 .12
Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2005 .01
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