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이용수
Abstract
1. 서론
2. 초음파 모터 특징
3. 외부 Inductor 변화에 의한 속도특성 변화
4. 결론
[참고문헌]
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전자진흥
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1997 .07
링형 초음파모터의 고정자 해석 및 설계
전기학회논문지 B
2003 .10
X-Y 스테이지를 위한 초음파 리니어 모터의 설계
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리니어 초음파 모터를 이용한 X-Y stage의 마이크로 미터급 위치 구동회로 설계
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