고주파 플라즈마 CVD에 의한 H2-CH4계로부터 다이아몬드 박막의 합성 ( Synthesis of Diamond Thin Film by RF PACVD from H2-CH4 Mixed Gas )

임헌찬

전자공학회논문지-T

1999 .09

RF 플라즈마 CVD에 의한 CH₄-H₂-O₂ 혼합 기체로부터 다이아몬드 박막의 합성

李常熙 ,  李德出

전기학회논문지

1998 .11

고주파 플라즈마 CVD 다이아몬드 박막의 합성시 첨가된 산소의 효과

김대일 ,  이상희 ,  이병수 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

고주파플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드상 탄소박막의 합성

朴相鉉 ,  李德出

전기학회논문지

1990 .10

RF PACVD에 의한 초경합금상에 다이아몬드 박막의 합성

金大一 ,  李常熙 ,  朴球範 외 5명

전기학회논문지 C

2000 .11

고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장

具孝根 ,  朴相鉉 ,  朴在潤 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .02

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

CH₄-H₂-O₂계로부터 성장된 Diamond박막의 Raman spectra

구효근 ,  박송태 ,  최종규 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

RF PACVD법에 의한 WC-Co에 성장된 다이아몬드 박막의 특성

이상희 ,  김대일 ,  윤종현 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

${CH_4}-{H_2}-{N_2}$ 기체계에서 MW-PACVD를 이용한 결정상 합성

김도근 ,  백영준 ,  성태연

한국재료학회지

2000 .01

RF 플라즈마 기상증착법에 의한 다이아몬드 박막 제조

김경례 ,  김용진 ,  현준원

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

수산화-메탄 연소불꽃에 의한 다이아몬드 박막합성

신예식 ,  최성조

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1990 .05

촉매가 첨가된 SnO 가스센서의 탄화수소 가스에 대한 감응 특성

이지영 ,  유일

한국재료학회지

2012 .01

헬리콘 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 특성

현준원 ,  김경례 ,  김용진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11