고주파 플라즈마 CVD에 의한 H₂-CH₄계로부터 다이아몬드 박막의 합성

이상희 ,  김대일 ,  박상현 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

고주파 플라즈마 CVD에 의한 H2-CH4계로부터 다이아몬드 박막의 합성 ( Synthesis of Diamond Thin Film by RF PACVD from H2-CH4 Mixed Gas )

임헌찬

전자공학회논문지-T

1999 .09

고주파플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드상 탄소박막의 합성

朴相鉉 ,  李德出

전기학회논문지

1990 .10

고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장

具孝根 ,  朴相鉉 ,  朴在潤 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .02

RF 플라즈마 기상증착법에 의한 다이아몬드 박막 제조

김경례 ,  김용진 ,  현준원

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

고주파 플라즈마 CVD 다이아몬드 박막의 합성시 첨가된 산소의 효과

김대일 ,  이상희 ,  이병수 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

헬리콘 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 특성

현준원 ,  김경례 ,  김용진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

RF 플라즈마를 이용한 다이아몬드 박막의 제조

신재균 ,  현준원

한국표면공학회지

1998 .06

RF magnetron plasma CVD에 의한 DLC 박막의 합성

김성영 ,  이재성

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1994 .10

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

DC Plasma CVD 법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구

이상현 ,  예길촌 ,  백운승 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11

초음파를 이용한 CVD 다이아몬드 평가기법

김훈희 ,  송성진 ,  김학준

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

RF Plasma CVD에 의한 TMDSO/O₂의 합성과 박막의 특성에 관한 연구

김인성 ,  김귀열 ,  강동필 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

RF Planar Magnetron Plasma CVD에 의한 DLC박막합성에 미치는 RF Power와 반응가스 압력의 영향

김성영 ,  이재성

한국재료학회지

1997 .01

Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구

박영수 ,  김성훈 ,  이조원

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

초경 Insert 공구의 CVD 다이아몬드 코팅에 관한 연구

김태규 ,  김현수 ,  김익진

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .11