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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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Cl2/CF4/Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Cl₂ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 식각특성
전기학회논문지 C
2001 .05
CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1986 .12
CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
모래와 실트의 혼합층에서 순간충격시험에 의한 지하수위 강하구역의 공극체적 산정
지하수토양환경
2007 .01
SBT 벌크 세라믹스 특성에 관한 연구
전기학회논문지 P
2000 .04
Ar/CF₄ 고밀도 플라즈마에서 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
Ar/CF₄ 고밀도 플라즈마에서 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 메카니즘
전기학회논문지 C
2000 .05
Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2002 .01
상부전극에 따른 SBT 커패시터의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
Ferroelectric 캐패시터의 하부전극에의 응용을 위한 IrO 박막 증착 및 특성분석
한국재료학회지
2003 .01
O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
다양한 상부전극에 따른 SBT 커패시터의 전기적 특성
전기학회논문지 C
2003 .12
비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
전기전자재료학회논문지
2002 .01
CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2002 .01
유도결합형 플라즈마를 이용한 비파괴 판독형 강유전체 메모리를 위한 강유전체 SBT 박막의 건식 식각 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구
전기학회논문지
1987 .11
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