Cl₂ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 식각특성

金東杓 ,  金昌日

전기학회논문지 C

2001 .05

SBT 강유전체 박막을 이용하여 제조한 MFIS 구조의 특성

김지웅 ,  박주동 ,  오태성

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

CF₄/Ar 플라즈마를 이용한 SBT 박막 식각에 관한 연구

김동표 ,  서정우 ,  김승범 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Sol-gel법으로 제조한 SBT 강유전체 박막의 결정화 거동

박주동 ,  연대중 ,  김영관 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Ferroelectric Characteristics of SBT Thin Films Fabricated by MOD Process for FRAM Applications

Dae Joong Yeon ,  Jae Shik Choi ,  Joo Dong Pa 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과

金南勳 ,  金昌日 ,  權光虎 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .06

Cl2/CF4/Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상

김동표 ,  김창일 ,  이철인 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

강유전체/비강유전체 복합 막의 유전특성 평가

라만 셰이크 압둘 ,  칸 세나와르 알리 ,  김우영

대한전자공학회 학술대회

2018 .06

플라즈마 원자층증착법에 의해 제조된 강유전체 SrBi2Ta2O9박막의 특성

신웅철 ,  류상욱 ,  유인규 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

강유전체 구조에 대한 백금전극의 Dry Etching 특성

김진홍 ,  정현진 ,  우성일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Dry etching of BST thin films using inductively coupled plasma

김관하 ,  김경태 ,  김창일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .11

모래와 실트의 혼합층에서 순간충격시험에 의한 지하수위 강하구역의 공극체적 산정

김태영 ,  강동환 ,  정상용 외 2명

지하수토양환경

2007 .01

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

SBT 벌크 세라믹스 특성에 관한 연구

馬碩範 ,  李勳九

전기학회논문지 P

2000 .04

강유전체박막의 연구개발 현황 및 전망

김호기

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

자화된 평판형 유도 결합 플라즈마의 특성 및 건식 식각에의 응용

이수부 ,  박헌건 ,  이석현

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07