DRY ETCHING TECHNOLOGY

Takafumi Tokunaga

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

강유전체 특집 - 특집 편집기 -

김호기

전자공학회지

1998 .07

강유전체 메모리 기술 현황 및 전망

유병곤 ,  유종선 ,  이원재 외 1명

전자공학회지

1998 .07

강유전체 세라믹 액추에이터의 내부전극에서 발생하는 전도균열 해석

정경문 ,  범현규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

Dry Etch 기술 동향 및 전망

김진웅

전자공학회지

2001 .08

유도결합형 플라즈마를 이용한 비파괴 판독형 강유전체 메모리를 위한 강유전체 SBT 박막의 건식 식각 특성

권영석 ,  최인훈 ,  심선일 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

강유전체/비강유전체 복합 막의 유전특성 평가

라만 셰이크 압둘 ,  칸 세나와르 알리 ,  김우영

대한전자공학회 학술대회

2018 .06

백금 참고 전극을 냉장한 H+ -ISFET

손병기 ,  김홍주 ,  유종선 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

고온용융염 전해환원 공정에서 백금 산화전극의 전기화학 반응 특성

정상문 ,  신호섭 ,  최은영 외 2명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2010 .01

(Bi, La)$Ti_{3}O_{12}$ 강유전체 박막의 전기적 특성

서강모 ,  공수철 ,  박지호 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

The Fabrication Method of Tip Array by Glass Deep Dry Etching Process

박태규 ,  민정기 ,  오영택 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

백금블랙 촉매 기반 MEA의 백금량 저감 및 성능 향상을 위한 중공형 백금 촉매 기반 촉매층 구조 설계 및 MEA 성능 최적화

조성훈 ,  디뎀도간 ,  황선미 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .11

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

금속전극 구조에 따른 염료 태양전지의 광전변환특성 고찰

최우진 ,  곽동주 ,  성열문

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .07