유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환; 김창일

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김영환 김창일

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제38권 제9호

발행연도: 2001.9

수록면: 7 - 11 (5page)

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