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이용수
Abstract
1. 서론
2. 선형증폭기
3. 유체소자의 정밀 제작
4. 유체소자의 유동해석
5. 결론
6. 참고 문헌
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초소형 유체 선형 증폭기의 수치해석을 이용한 설계, 실리콘 공정을 이용한 제작 및 성능 실험
전기학회논문지
1998 .07
실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )
대한전자공학회 학술대회
1996 .07
실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .07
Silicon Micromachining
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
마이크로머시닝을 이용한 세포 융합 기구에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
마이크로머시닝 기술
기계와 재료
1995 .01
Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석
전기학회논문지
1996 .10
A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술
소성·가공
2004 .04
표준마이크로머시닝 프로젝트
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
마이크로머시닝을 이용한 Flexible 센서 패키징
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술개발
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2004 .05
마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
전기학회논문지 C
2000 .06
마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
마이크로머시닝 기술을 이용한 전자 광학 렌즈의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
마이크로머시닝 기술을 이용한 초소형 자이로센서의 연구동향
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
반도체 마이크로 머시닝 기술을 이용한 전자기형 진동 트렌스듀서의 실리콘 탄성체 구현
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
미소가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정에서 열적거동 해석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2000 .05
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