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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,444 - 1,445 (2page)

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Carbon nanotubes (CNTs) are grown on TiN-Coated silicon substrates at 700℃ using an ICP-CVD method. Ni catalysts for CNT growth are formed using an RF magnetron sputtering system. Post-treatment using hydrogen ions has been performed in the ICP reactor by varying the treatment period. The characterization using various techniques, such as FESEM, HRTEM, and Raman spectroscopy, show that the physical dimension as ... 전체 초록 보기

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