The Structure and Electrical Characteristics of CNTs Depending on the Hydrogen Plasma Treatment

Uh, Hyung-Soo; Lee, Soo-Myun; Jeon, Pil-Goo; Kwak, Byung-Hwak; Park, Sang-Sik; Cho, Euo-Sik; Lee, Jong-Duk; Kwon, Sang-Jik

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저자정보: Uh, Hyung-Soo (Dept. of Electronics Eng., Sejong Univ.) Lee, Soo-Myun (Dept. of Electronics Eng., Sejong Univ.) Jeon, Pil-Goo (Dept. of Electronics Eng., Sejong Univ.) Kwak, Byung-Hwak (Dept. of Electronics Eng., Sejong Univ.) Park, Sang-Sik (Dept. of Electronics Eng., Sejong Univ.) Cho, Euo-Sik (School of Electrical Eng., Seoul Nat'l Univ.) Lee, Jong-Duk (School of Electrical Eng., Seoul Nat'l Univ.) Kwon, Sang-Jik (Dept. of Electronics Eng., Kyungwon University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display

발행연도: 2003.1

수록면: 855 - 858 (4page)

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Carbon nanotubes (CNTs) were grown on Ni-coated TiN/Si substrate by microwave plasma chemical vapor deposition using mixture gas of $H_2/CH_4$ at low temperature of 500 $^{\circ}C$. Average diameter of CNTs could be easily controlled by $H_2$ plasma pretreatment time before CNTs growth. The turn-on voltages of CNT emitters were varied from 3.5 $V/{\mu}m$ to 9 $V/{\mu}m$ according to the hydrogen pretreatment conditions. The close relationship between electron emission characteristics and pretreatment time indicates that pretreatment condition can be a key process parameter in CNTs growth for field emission displays..

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Lee, Soo-Myun

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Cho, Euo-Sik

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