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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,635 - 1,636 (2page)

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In this paper, a non-vacuum packaged single crystalline silicon MEMS gyroscope is designed, fabricated and tested. To reduce air damping of the gyroscope structure for non-vacuum packaging, air damping model is used and damping is minimized by analysis. The inner and outer spring length is optimized by ANSYS simulation for rigi ... 전체 초록 보기

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