메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
송성호 (아주대학교) 한규성 (아주대학교) Nguyen Tuan hong (아주대학교) 이순일 (아주대학교) 양상식 (아주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제58권 제5호
발행연도
2009.5
수록면
1,004 - 1,009 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Recently, mass spectrometers are widely used for in-situ chemical analysis. It has rapid response and high sensitivity. In this paper, we present the fabrication and test of a cold cathode emitter for micro mass spectrometer using CNTs (Carbon nano tubes). The CNTs have good mechanical, electrical and chemical characteristics. So they have a long life time and strong robustness. The micro mass spectrometer is composed of the glass substrate and the silicon substrate. The glass substrate is constructed by electrodes for TOF(Time-of-flight) which analyze an ion with mass to charge ratio as ion separator. The silicon substrate is highly doped wafer which is patterned for gate electrode and then 100 11m dry etching to grow the CNTs as the electron emitter. The CNTs are grown by HFCVD (Hot filament chemical vapor deposition) with sputtering the catalyst. We successfully attained to grow the CNTs and to test the characteristics.
#Micro mass spectrometer #Ion source #Electron emitter #Carbon nanotube #Micromachining

목차

Abstract
1. 서론
2. 초소형 질량분석기의 원리
3. 초소형 질량분석소자의 구조
4. 초소형 질량분석소자의 제작공정
5. 실험과 결과
6. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (23)

참고문헌 신청
1. [단행본] - F. A. White / 1986 / Mass Spectrometry: Applications in Science and Engineering / A Willey-Interscience Publication google schola 2. [단행본] - E. Constantin / 1991 / Mass Spectrometry / ELLIS HORWOOD google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Tuszewski M / 1996 / Rev. Sci. Instrum / Review of Scientific 67 : 2215 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Diaz J. A. / 2001 / J. Am. Soc. Mass Spectrom / Journal of The American Society for Mass Spectrometry 12 : 619 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Orient O. J. / 1997 / Review of Scientific Instruments / Review of Scientific Instruments 68 : 1393 ~ google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-560-002246024