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임종남 (충북대학교) 오진헌 (충북대학교) 임기조 (충북대학교) 김현후 (두원공과대학)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,275 - 1,276 (2page)

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Micropump is very useful component in micro/nano fluidics and bioMEMS applications. Using the flexural vibration mode of PZT bar, a piezopump is successfully made. The PZT bar is polarized with thickness direction. The proposed structure for the piezo-pump consists of an input and an output port, piezoelectric ce ... 전체 초록 보기

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