GeH₄ 기체의 전자수송계수에 관한 연구

류선미; 전병훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 류선미 (동국대학교) 전병훈 (동국대학교)

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회

발행연도: 2009.7

수록면: 1,404 - 1,405 (2page)

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For quantitative understanding of gas discharge phenomena, we should know electron collision cross section. GeH₄ is used in many applications with Si₂H? gas, such as amorphous alloy, a thin film of silicon and solar cell. Therefore, we understand the electron transport characteristics and analysed ... 전체 초록 보기

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류선미

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