초정밀 직선, 회전운동 전달용 고진공 피드스루 설계

김경호; 박천홍; 이창우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김경호 (한국기계연구원) 박천홍 (한국기계연구원) 이창우 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집(상)

발행연도: 2010.5

수록면: 475 - 476 (2page)

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