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장원석 (한국기계연구원) 최무진 (한국기계연구원) 김재구 (한국기계연구원) 조성학 (한국기계연구원) 황경현 (한국기계연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
114 - 117 (4page)

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Self-Assembled Monolayers(SAMs) by alkanethiol adsorption to thin metal film are widely being investigated for applications as molecular recognition, selective binding of enzyme to surfaces, coating layer for corrosion protections or friction reduction and in fabrication of micro structure of bio molecular. In this study, standard positive photoresist techniques were adapted to generate micro/nano patterns of gold film using SAMs and femtosecond laser (200fs). SAMs formed by the adsorption of alkanethiols onto gold substrate with 100㎚ thickness are employed as very thin photoresist. We present the fabrication of thin film that has heterostructure of two different kinds of thiol by maskless laser patterning of organic SAMs. And this method also extend to nanoscale patterning using near-field scanning optical microscopy coupled with femtosecond laser.
#SAMs(자기조립박막) #Femtosecond laser(초단펄스레이저) #Nanoscale patterning(나노패터닝) #Near-field scaning optical microscopy(근접장현미경)

목차

Abstract
1. 서론
2. Self-Assembled Monolayers
3. 패터닝 및 결과
4. 결론
후기
참고문헌

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