Thin Film Micromachining Using Femtosecond Laser Photo Patterning of Organic Self-assembled Monolayers

Won-Seok Chang; Moo-Jin Choi; Jae-Gu Kim; Sung-Hak Cho; Kyung-Hyun Whang

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: Won-Seok Chang Moo-Jin Choi Jae-Gu Kim Sung-Hak Cho Kyung-Hyun Whang

저널정보: Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.7 No.1

발행연도: 2006.1

수록면: 13 - 17 (5page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Self-Assembled Monolayers (SAMs) formed by alkanethiol adsorption to thin metal film are widely being investigated for applications as coating layer for anti-stiction or friction reduction and in fabrication of micro structure of molecules and bio molecules. Recently, there have been many researches on micro patterning using the advantages of very thin thickness and etching resistance of Self-Assembled Monolayers in selective etching of thin metal film. In this report, we present the several machining method to form the nanoscale structure by Mask-Less laser patterning using alknanethiolate Self-Assembled Monolayers such as thin metal film etching and heterogeneous SAM structure formation.

#Self-assembled monolayer #Laser patterning #Thin metal film #Micromachining #Laser direct machining

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

[학술지(정기간행물)] - / 2002. / Nanoscale molecular patterning fabricated by using scanning near-field optical lithography 124 : 2414 ~ 2415

[학술지(정기간행물)] - / / Zurich Research Lab.

[학술지(정기간행물)] - / 2001 / Mixed Self-Assembled Monolayers on the Si(100) Surface : 1 ~ 3

[학술지(정기간행물)] - / 2001. / Oxidation of Self-Assembled Monolayers by UV Light with a Wavelength of 254 nm 123 : 4089 ~ 4090

[학술지(정기간행물)] - / 1998. / Wettabilities of self-assembled monolayers generated from CF3-Terminated Alkanethiols on Gold 14 : 5821 ~ 5825

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

장원석

소속기관 대구기계부품연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 246 이용수 12,167

Moo-Jin Choi

소속기관 한국정밀공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 1 이용수 36

김재구

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 170 이용수 11,813

조성학

소속기관 한국과학기술연합대학원대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10% 사회과학 > 심리과학

논문수 166 이용수 8,729

황경현

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 166 이용수 9,245

이 논문과 함께 이용한 논문

레이저 마스킹을 이용한 원통형상의 미세 전해에칭

조철희 , 신홍식 , 주종남 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .05

피코초 레이저를 이용한 초소수성 표면 제작에 관한 연구

조일환 , 이제훈 , 노지환 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2012 .02

EWT 태양전지 제작을 위한 레이저 미세 관통홀 가공 기술

이홍구 , 서세영 , 현덕환 외 5명 한국태양에너지학회 논문집 2011 .08

레이저 가공과 전해 에칭을 이용한 미세 핀 배열의 가공 및 응용

이세원 , 신홍식 , 김한 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06

전자소자용 인쇄를 제작을 위한 레이저 미세 패터닝 소프트웨어 개발

석준홍 , 이동현 , 이주장 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016780211

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (10)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)