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저자정보
조규중 (져스텍) 최동수 (져스텍) 안형준 (숭실대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.6
수록면
304 - 311 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

XY 선형 모션 스테이지 시스템의 반발력 보상 기구와 제어
조규중 ,  최동수 ,  안형준 대한기계학회 논문집 A권 2011.06 학술저널

2010

XY 선형 모션 스테이지 시스템의 반발력 보상 기구 및 그 제어 방법
조규중 ,  최동수 ,  안형준 대한기계학회 춘추학술대회 2010.06 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 별도의 외부 격리 구조물이나 추가 모터가 필요 없는 XY 선형 모션 스테이지를 위한 반발력 보상 시스템을 개발하였다. 개발된 시스템은 이동 가능한 마그넷 트랙, 스프링, 더미 질량을 포함한 자체 반발력 보상 구조와 전용 센서로 이송용 모터 코일과 마그넷 트랙의 상대 위치를 검출하여 고 정밀 추력 및 위치를 제어하는 능동 제어 시스템으로 구성된다. 반발력 보상 시스템을 모델링 하고 모의 시험을 통해 이동 거리, 가속도 하중, 허용 가능한 장비 크기와 같은 설계 요소를 최적화 하였다. 반발력 보상 시스템이 구비된 XY 모션 스테이지를 제작하였으며, 해당 시스템의 성능을 실험적으로 검증하였다: 10m/s² 가감속 시에 85%의 반발력이 반발력 보상 시스템에 의해 흡수되었다.
#XY Linear Motion Stage(XY 선형 모션 스테이지) #Reaction Force Compensation(반발력 보상)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 반발력 보상 시스템
3. 시스템 설계
4. 성능 시험
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
장준원, 박상원, 홍성욱. 위치결정 스테이지의 고속 정밀 위치결정을 위한 입력성형명령 생성 기법. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2008 dbpia

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