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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
조규중 (져스텍) 최동수 (져스텍) 안형준 (숭실대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제35권 제6호
발행연도
2011.6
수록면
599 - 607 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

XY 선형 모션 스테이지 시스템의 반발력 보상 기구와 제어
조규중 ,  최동수 ,  안형준 대한기계학회 논문집 A권 2011.06 학술저널

2010

XY 선형 모션 스테이지 시스템의 반발력 보상 기구 및 그 제어 방법
조규중 ,  최동수 ,  안형준 대한기계학회 춘추학술대회 2010.06 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 별도의 외부 격리 구조물이나 추가 모터가 필요 없는 XY 선형 모션 스테이지를 위한 반발력 보상 시스템을 개발하였다. 개발된 시스템은 이동 가능한 마그넷 트랙, 스프링, 추가 질량을 포함한 자체 반발력 보상 구조를 가지고 있으며 이송용 모터 코일과 마그넷 트랙의 상대 위치를 검출할 수 있는 전용 센서를 개발하여 고정밀 추력 및 위치를 제어에 적용하였다. 먼저 반발력 보상 시스템을 모델링하고 모의 시험을 통해 이동 거리, 가속도, 하중, 허용 가능한 장비 크기와 같은 설계 요소를 최적화 하였다. 반발력 보상 시스템이 구비된 XY 모션 스테이지를 제작하였으며, 해당 시스템의 성능을 실험적으로 검증하였다. 실험결과 10m/s² 가감속 시에 85%의 반발력이 반발력 보상 시스템에 의해 흡수되었다.
#XY Linear Motion Stage(XY 선형 모션 스테이지) #Reaction Force Compensation(반발력 보상)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 반발력 보상 시스템
3. 시스템 설계
4. 성능 시험
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Dijkstra, B. G / 2001 / Input Design for Optimal Discrete Time Point-To-Point Motion of an Industrial XY-Positioning Table / Selected Topics in Signals, Systems and Control 12 : 9 ~ 14 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Tseng, Y. T / 2003 / High-speed and Precise Positioning an X-Y Table / Control Engineering Practice 11 (4) : 357 ~ 365 google schola 3. [학술대회논문] - Kwac, L. K / 2002 / Optimal Design of Controller for Ultra-Precision Plane X-Y Stage / Proc. of the KSPE Spring Conference : 342 ~ 347 dbpia 5. [기타자료] - Greene, P. M / 2005 / Reaction Force Transfer System, United States Patent, US006844635B2 / Dover Instrument Corporation : 1 ~ 4 google schola 6. [기타자료] - Lee, M. E / 1998 / Guideless Stage with Isolated Reaction Frame, United States Patent, US005744924A / Nikon Corporation : 1 ~ 18 google schola

이 논문의 저자 정보

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XY 선형 모션 스테이지 시스템의 반발력 보상 기구 및 그 제어 방법
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