메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
최현창 (동명정보대학교) 박준협 (삼성종합기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2002년도 제1회 재료 및 파괴부문 학술대회 논문집
발행연도
2002.3
수록면
289 - 294 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
The mean stresses of the single and multi-stacked film are experimentally investigated. After stacking several layers on a wafer, we measure the curvature on the wafer. Followed by peeling each layer stacked, we measure the curvature on the wafer, again. Mean residual stresses are calculated from radiuses of the curvatures using the Stoney's equation. Microcantilever beams is constructed by removing substrate and the deflection at the end of a beam is measured. Finite element method for determining residual stress distribution in multi-stacked films with a multi-step doping process is studied for use in micromachining applications. We propose a finite element program for residual stress analysis (RESA) in multi-stacked polysilicon film. The distribution of residual stress field in multi-stacked films is predicted using RESA. And it is established for the prediction method determining the deflection in a cantilever beam using finite element method(FEM).
#다적층 필름(Multi-stacked Film) #유한요소법(Finite Element Method) #잔류응력 분포(Residual Stress Distribution) #수직 처짐(Vertical Deflection)

목차

Abstract
1. 서론
2. 박막제작 및 잔류응력 측정
3. 외팔보 구조물 제작
4. 유한 요소 프로그램
5. 잔류응력계산
6. 외팔보 처짐 예측
결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

박막의 막성분 및 굽힘성분의 잔류응력 예측기법
배홍열 ,  김윤재 ,  송태광 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007 .11
유한요소법에 의한 광폭 레이저 표면경화의 잔류응력해석
김재도 ,  맹주원 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 1999 .11
열응력과 잔류응력 하의 다층박막의 응력 해석
박준협 ,  최현창 대한기계학회 춘추학술대회 2003 .08

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-550-003027985