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Current status of Atomic and Molecular Data for Low-Temperature Plasmas
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Plasma Chemistry Data Research for Plasma Applications
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Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute
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CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation
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2008 .08
Molecular dynamics investigation to identify Al atomic behavior on various Cu surfaces
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Atomic structure of Si(5 5 12)-2×1
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Molecular basis of non-thermal plasma effect on cancer cells
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Atomic investigation of Ti/Al(001) interface by molecular dynamics simulation
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Convergence of NT and BT based on atomic and molecular level analysis and control
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낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
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2020 .02
Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture
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Low - temperature atomic layer deposition of AlN thin films using plasma interactions
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2003 .02
Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using a VHF (162 MHz) plasma source
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2020 .02
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
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2015 .08
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